Comme le nitrure de silicium peut former une liaison forte avec le carbure de silicium, l'oxyde d'aluminium, le dioxyde de thorium, le nitrure de bore, etc., il peut être utilisé comme matériau de liaison et modifié avec différents rapports. De plus, le nitrure de silicium peut également être appliqué aux cellules solaires.
Après le dépôt du film de nitrure de silicium par PECVD, non seulement il peut être utilisé comme film anti-reflet pour réduire la réflexion de la lumière incidente, mais également, lors du dépôt du film de nitrure de silicium, les atomes d'hydrogène du produit de réaction pénètrent dans le silicium le film de nitrure et la plaquette de silicium ont joué le rôle de défauts de passivation.
Le rapport en nombre du nitrure de silicium au nitrure de silicium ici n'est pas strictement 4: 3, mais fluctue dans une certaine plage en fonction des différentes conditions du processus. Les propriétés physiques des couches minces correspondant à différents rapports atomiques sont différentes: utilisées dans les turbines à gaz à ultra-haute température, les moteurs d'avion, les fours électriques, etc.
