Henry Edin St. Claire Deville et Friedrich Wheeler ont signalé pour la première fois la synthèse de nitrure de silicium en 1857. Dans la méthode de synthèse qu'ils ont rapportée, un autre creuset rempli de silicium a été enterré dans un creuset rempli de carbone et chauffé pour réduire l'infiltration d'oxygène. Ils ont signalé un produit de ce qu'ils appelaient le nitrure de silicium, mais ils n'ont pas compris sa composition chimique.
En 1879, Paul Schuetzenberger a mélangé le silicium avec la doublure (une pâte qui peut être utilisée comme doublure de creuset, obtenue en mélangeant du charbon de bois, du charbon ou du coke avec de l'argile) et l'a chauffé dans un haut fourneau et l'a signalé comme ingrédient. un composé de Si3N4.
En 1910, Ludwig Weiss et Theodor Engelhardt ont chauffé du Si sous azote pur pour obtenir du Si3N4. En 1925, Friederich et Sittig ont utilisé une méthode de réduction thermique du carbone pour convertir la silice et le carbone sous atmosphère d'azote. Chauffez à 1250-1300 ℃ pour synthétiser du nitrure de silicium.
